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SENSIRION氣體質(zhì)量流量計資料
SENSIRION氣體質(zhì)量流量計是一款適用于大批量成本敏感的OEM項目。
SFM5300質(zhì)量流量計具有的精度（誤差＜1%）、可重復性和長期穩(wěn)定性，寬動態(tài)測量范圍，尺寸緊湊。SFM5300質(zhì)量流量計采用鈑金式連接方式和數(shù)字接口。金屬SFM5300是SFM5400系列質(zhì)量流量計的變種適用于大批量成本敏感的OEM項目。
SFM5300質(zhì)量流量計的杰出性能基于創(chuàng)新的CMOSens? 技術，它在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感元件和信號處理電路。結合材料，其實現(xiàn)了一個持久穩(wěn)定、快速和高精度的SFM5300質(zhì)量流量計。
SFM5300質(zhì)量流量計是SFC5300質(zhì)量流量控制器的無閥門版本。兩個傳感器產(chǎn)品具有相同的性能特性，并適用于在類似的應用，這意味著它們可以理想地結合在一起。在SFC5300 網(wǎng)站，你可以找到關于質(zhì)量流量控制器的進一步信息和詳細規(guī)格。
SENSIRION氣體質(zhì)量流量計SFM5300性能參數(shù)
低流量的高度（< 1 sccm）
優(yōu)良的精度/可重復性（分別為測量值的2% / 0.2%）
寬動態(tài)范圍（量程比1000:1）
尺寸緊湊(downmount安裝連接)
多氣體和氣體識別
數(shù)字接口
高度可配置
MTBF 169年-無需再校準
SENSIRION氣體質(zhì)量流量計SFM5300應用
分析儀器（如氣相色譜、質(zhì)譜、熱分析）
醫(yī)療器械（如呼吸機、麻醉機）
工業(yè)過程自動化（如涂覆、熱處理）
半導體產(chǎn)業(yè)（如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）
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